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化學機械研磨
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http://lib.hdut.edu.tw/hdut/flysheet_admin/new_file_download.php?Pact=FileDownLoad&Pval=8999
以邊界元素法研究化學機械研磨製程之維持環對晶圓表面不均勻 ...
而建立了一套含維持環機構之化學機械研磨之二維軸對稱準靜態邊界元素模式。結果顯示(1)晶圓表面von. Mises 應力分佈與實驗的表面材料移除率在靠近晶圓邊緣處皆有陡昇的 ...
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