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化學機械研磨
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具有平坦化尖端之化學機械研磨墊修整器及其相關方法 - Google ...
已有許多的技術用以製造光滑且具平坦表面之矽晶圓。其中最常見的製程稱為化學機械研磨(CMP),其包括一結合研磨液之研磨墊之使用。在所有CMP製程中最重要的是於研磨晶圓的 ...
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「化學機械研磨」
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