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第十二章化學機械研磨

平滑化及局部平坦化可就由熱流動以及回蝕刻. 製程而達成. • 對圖形尺寸小於0.35 µm而言，全面性平坦化. 是必須的，而這只能藉化學機械研磨才能達成.

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