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化學機械研磨 - 華人百科

化學機械研磨 亦稱為化學機械拋光，其原理是化學腐蝕作用和機械去除作用相結合的加工技術，是目前機械加工中唯一可以實現表面全局平坦化的技術。 化學機械研磨 ...

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