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化學機械研磨原理
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化學機械研磨製程之有限元素建模
本文旨在建立一化學機械研磨製程之二維軸對稱準靜態有限元素模式,來分析研磨 ... 依據最小總位能原理,當系統的總位能為最小值時,位移為一平衡狀態,即.
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