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化學機械研磨_百度百科

化學機械研磨 亦稱為化學機械拋光，其原理是化學腐蝕作用和機械去除作用相結合的加工技術，是機械加工中唯一可以實現表面全局平坦化的技術。 中文名. 化學機械研磨. 外文名.

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