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化合物半導體製程
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含鍺半導體及化合物半導體之氣相氧化物移除與鈍化
根據另一實施例,含鍺半導體或化合物半導體上有氧化層且對於處理氣體的暴露自基板移除 ... 此乃部分由於對於良好製程控制的需求隨元件特徵部之臨界尺寸(CDs:critical ...
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