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CMOS-MEMS 電容式加速度計的研發 ... - 國立交通大學

圖1-3 加速度計操作原理. 如上圖所示為一帶有阻尼的質塊運動系統，當此質量塊受到一外在加速度. 時，其運動式與質量、彈簧、阻尼有關，可表示如下；其中m 為質量塊的質量( ...

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