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硅微型加速度计有限元模型与动态分析研究

摘要由于硅微型加速度计高动态性能和特殊的制造工艺，在设计阶段必须对其. 进行详细的结构动态分析. ... 式中，［K］是刚度矩阵；［M］是质量矩阵；｛u｝为位移向.

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