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壓電薄膜加速度微感測器之系統模擬分析 - 國立高雄科技大學

由(3)式可知，加速度ixxx 僅為o x 之函數。 加速度感測器之感測原理為當感測器本體受到. ㆒加速度ixxx 時，將造成振動質塊M ...

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