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微機電加速度感測器 - 工業技術研究院

我們要介紹的加速度感測器原理很簡單，我. 們利用半導體技術製造一個電容器，這個電容器. 的兩極都是矽，只要外面給他一點微小的力，電. 容的值就會改變， ...

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