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半導體製程廢氣管路中微粒沉降之實廠研究

當管壁加熱至溫度100°C大於進氣氣流溫度80°C時，粒徑小於ijim 的微粒附著率會明顯降低。然而，微粒會因為本身帶有電荷而附著或是聚集在一起而沈降附著，所以要使用加熱帶 ...

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