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快速升溫製程處理(RTP)

應用材料的燈泡式、雷射式和加熱器式系統產品採用全方位退火技術，對於先進技術的挑戰，如圖案負載效應、熱積存縮減、電流洩漏、矽介面品質最佳化和高產能製程等要求，都 ...

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