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解決方案案例[case-002] VCSEL製程的建立

我們解決了VCSEL (表面發射雷射) 的AIA層的低溫濕法氧化製程的再現性挑戰。 解決方案. 在此過程中，證明高維溫度再現性是可能的，使我們專利的LGO加熱器獲得採用。

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