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加熱用於特殊氣體管路附著去除效應-以某半導體廠為例

本研究使用管路加熱系統處理管路內部黏滯性氣體的去除：在供應系統上HBr與Hcl氣瓶櫃的Pigtail加裝加熱系統，在氣體鋼瓶更換前先進行Pigtail管路加熱；在製程廢氣處理 ...

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