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第五章熱製程

製程 反應室. 晶圓. 塔架. 加熱器. 支撐與旋. 轉系統. • 乾氧化, 薄氧化層. – 閘極氧化層; 屏蔽氧化層. • 濕氧化, 厚氧化層. – 場氧化層(field oxide;絕緣); 擴散,遮蔽, ...

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