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前瞻半導體研究所 - 產學創新研究學院- 國立陽明交通大學

半導體 元件與積體電路是利用各種不同性質材料進行整合，包括半導體材料、介電材料和導電材料。而要製作先進的三維電晶體或導線互連架構，材料蝕刻工藝也非常關鍵。另外，最 ...

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