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X射線光電子能譜儀(XPS)

氬離子槍：離子束能量調整範圍為 0.5keV-5 keV ... 無法在合理時間內(一般為30分鐘左右)降至預抽所需真空度(2.7x10 -4 Pa)，則取消該次實驗且就已操作的時間收取費用。

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