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前擋拋光
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【干货】芯片制造全过程! - 电子工程专辑
紫外光先通过一个带有“图案”的“挡板”,其功能在于遮掉部分光线,使光线特定的形状照射在晶圆上。 ... 15:将多余的铜抛光掉,留下了非常薄的一层铜。
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