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自動化控制器 - 台灣儀器科技研究中心

但電. 子產業中的電漿系統需使用高成本真空系統，以便用於鍍膜或蝕刻，且很難整合到連續式的. 生產線中。因此大氣壓電漿(atmospheric pressure plasma, APP) 技術越來越 ...

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