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3M冷卻劑廠遭關閉台積、聯電、世界：免驚 - 工商時報

據悉半導體冷卻劑主要用在半導體晶圓製造的蝕刻製程當中，並具有高純化的含氟電子化學品，可應用在乾式或濕式製程當中，不論先進製程或成熟製程，都需要用 ...

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