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高溫快速熱退火技術於AM-OLED TFT-Array 之應用 - 材料世界網

固相結晶法-SPC SPC是一種間接生成p-Si的方法，其非晶固體發生再結晶化的溫度低於其熔融後結晶的溫度。這種方式先以矽甲烷氣體作為原材料，用LPCVD或 ...

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