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雷射誘發氫化非晶質矽再結晶研究 - NCHU Institution Repository

製備多晶矽薄膜的方法很多，在本實驗中利用Nd:YAG雷射來誘使氫化非晶質矽成為多晶質矽，藉由探討不同雷射光波長、基材溫度、掃描速率、SiO2厚度及雷射能量密度之再結晶 ...

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