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再結晶問題討論
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不同矽膜厚度與預熱溫度之再結晶特性研究 - 材料世界網
結果與討論圖四為不同非晶矽厚度在室溫環境下,於不同準分子雷射能量密度照射下之熱反應時間。由圖可以觀察出,對於低準分子雷射能量密度(Eth)照射矽膜, ...
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