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CMOS MEMS 微型加速度計 - 台灣儀器科技研究中心

其結構主要也包括中央質量塊. 及其外框，及彈簧與感測電極，其操作原理和前例. 類似，當感測器受到X 軸(或Y 軸) 方向的加速度. 時，中央質量塊會受到慣性力的作用產生位移 ...

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