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應用於微微衛星之先進微型陀螺儀原型設計與製作

第2章以六軸微加速度計合成微陀螺儀之原理....... 3 ... 3.3 梳狀電容感測原理. ... 隨著MEMS 技術不斷地發展,應用此技術製造的微感測器陸續地在市面上銷.

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