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IC 縮小術！林本堅院士談光學微影如何把IC 愈變愈小 - 科技新報

光學微影簡單來說，就是製作元件時，將元件組成材料依所需位置「印」在半導體晶圓上的技術。 ... 就是用兩個以上光罩，稱為「多圖案微影」。

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