在TFT-LCD 製程中須經過多次黃光、蝕刻製程,為避免光阻殘存玻璃基板邊. 緣,因此藉由乙酸正丁酯(以下簡稱NBA)可溶解光阻劑且易揮發之特性,以NBA. 做光阻塗佈最後的清洗 ...
確定! 回上一頁