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光電半導體製程
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複合式矽光子陀螺儀晶片與微型化模組開發
執行機構:國立中山大學光電工程學系 ... photonics),設計與採用多個創新矽光子整合技術,將晶片面積大幅度降低,並以半導體晶圓廠製程技術,透過產 ...
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