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光電半導體製程
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我國產業含氟溫室氣體減量推動現況
製程 使用. • PFC. – 半導體與光電業. – 蝕刻與清洗. • SF. 6. – 半導體製程使用. – 鎂合金製造. – 高壓斷路器與其他開關裝置的絕緣氣體.
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