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考慮壓電遲滯與非線性摩擦力之微奈米級定位系統研究

2. 因為使用壓電元件瞬間變形的特性，形成步階定位的控制系統，使得控制器之構成 ... 驅動原理為在厚度方向，施加電壓極化壓電元件，使壓電元件產生伸縮變形的動作。

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