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黃光微影製程技術

和溶劑(solvent)依遇光特性可分成正光阻和負光阻 ... 負光阻的特性: 照光之後不溶於顯影劑適用於3µm以上的製程 ... 類似投影機原理，將光罩上的圖. 形投影到光阻上。

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