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光阻 塗 佈 原理
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駐波效應光阻– 駐波原理 - Szshuan
一般萘醌重氮/ 酚醛樹脂的正型光阻加入dye的目的是在於增加光阻的吸收,降低入射光 ... 其主要製程乃屬黃光製程,也就是微影製程,基本上包含上光阻劑在晶片上塗佈光阻 ...
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「光阻 塗 佈 原理」
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旋轉塗佈原理
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