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光阻 塗 佈 原理
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半導體製程技術 - 聯合大學
暫時塗佈在晶圓上. ▫ 將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面. ▫ 和照相機的底片的感光材料相似. 正負光阻的比較. 負光阻. ▫ 曝光後不可溶解. ▫ 顯影之後,未曝光的部.
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