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負光阻原理

負光阻經曝光後變不可溶經顯影製程，未曝光部分溶解較便宜正光阻經曝光後變可溶經顯影製程，曝光部分溶解解析度較佳光敏感物質暫時塗佈在晶圓上表面經由曝光製程將設計 ...

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