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光阻 塗 佈 原理
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黃光微影 - 應用物理學系
實驗原理:. 光阻可分為正、負光阻,和曝光部分是否會溶於特殊溶液有關。對正光阻而言, ... 溶劑可讓光阻保持容液狀態使光阻可以旋舖方式塗佈在基板上。樹脂提供光阻 ...
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