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光罩的圖形轉印在塗佈有機光阻photo resist 上 - Castagne

光學微影技術的曝光原理是利用光和光阻的交互作用；ebl也一樣，是利用電子和光阻的交互作用來曝光，ebl的光阻也一樣有分正光阻和負光阻，正光阻被自1997年 ...

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