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負型光阻英文 - ZQILZ

PDF 檔案. 光阻感光材料暫時塗佈在晶圓上將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面和照相機的底片的感光材料相似正負光阻的比較負光阻曝光後不可溶解顯影之後，未曝光的部分 ...

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