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行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 - IR

英文 關鍵詞： 3D-mask, micro-probe array, proximity exposure, ... 在方案一，正光阻AZ4620無法吸收紫外光線的功率，故無法使光阻漂白(bleached)；在方案二，微探針.

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