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單一料源風險高！告急！日本光阻劑斷供中國！

2021年5月27日，據產業媒體報導，由於日本信越化學KrF光阻劑產能不足等原因，導致中國大陸多家晶圓廠Kr光阻劑供應緊張，部分中小晶圓廠KrF光阻劑甚至 ...

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