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光觸媒科技應用於微影製程技術的開發 - 元智大學

光阻 劑塗佈：將對光源具有光化學作用的光阻劑材料（photoresist）塗佈於基材上，形成一層膜。 2. 曝光：曝光的作用是將光照射至透光區的光阻劑產生光化學的反應，曝光 ...

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