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工學院半導體材料與製程設備學程

曝光機的原理和照相機基本上是類似的，完成光阻塗佈的晶圓. 就如同底片一樣，而光罩就是我們要照的影像，只是曝光機的解析. 度比照相機好很多而且也複雜很多。曝光機可分成 ...

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