丙二醇甲醚. PGME, 107-98-2, 主要用途為和PGMEA 調和後作為光阻稀釋液及清洗液,也可單獨使用於光阻管路清洗。 SDS · SPEC ; 3-乙氧基丙酸乙酯. EEP, 763-69-9, 多用為負光 ...
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