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罪魁禍首是光阻原料供應商，但台積電供應鏈管理與進料檢驗也 ...

「化學原料供應商的一批光阻原料中某特定成分因被處理的方式與過去有異，導致光阻液中產生異質的聚合物。而此異質聚合物對晶圓14B廠生產的12/16奈米晶圓產生了不良影響。」.

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