剛好小的最近也是在做這些用正光阻AZ4620 LIFT-OFF 約20 MICRON線寬光阻塗厚一點用 ... 清潔乾淨,接著在矽晶片上塗佈光阻,將塗佈完之wafer放置加熱板上做軟烤動作。
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