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第四章實驗結果與討論 - 國立臺灣師範大學

在製作的過程中為能得到特定的光阻膜厚，控制光阻旋塗的轉速和時間. 是極為重要的，本實驗中採用的光阻塗佈機，為可三段式的調整旋塗光阻的.

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