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光觸媒科技應用於微影製程技術的開發 - 元智大學

光阻 劑塗佈：將對光源具有光化學作用的光阻劑材料（photoresist）塗佈於基材上， ... 陶瓷光觸媒複合體部分區域在室溫下有效的照光，依據光觸媒的原理，複合體中的高 ...

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