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紅色負型光阻液之回收與再生技術

coating)方式將一定量之光阻液塗佈於玻璃基板上，不僅基板上之光. 阻液利用率低，且塗佈甩出之光阻隨即成為機台污染物；為了使機台 ... 2.1 基本原理. 一般彩色光阻劑 ...

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