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TFT-LCD微影製程光阻用量優化之研究與分析

[5] 游在安、葉玉瓊，「平面液晶顯示器用大面積基板精密塗佈技術」，工業材料，工研院，(1997)。 [6] 楊炎勝，「以冷風濃縮設備重複回收光阻劑廢液之可行 ...

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