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光阻劑- 微影製程

光阻 劑. 負光阻. • 經曝光後變不可. 溶. • 經顯影製程，未. 曝光部分溶解. • 較便宜 ... 光阻成分. • 高分子. • 溶劑. 1. 溶解高分子. 2. 允許光阻藉由旋轉塗佈而成.

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